Wafer sorting-晶圆导片机

Wafer sorting是我司自主研发、制造的高性能、高稳定性、高产出的晶圆分选机。人工将1个装有6寸或8寸晶圆的Cassette与5个空的open cassette放入到设备指定的Port上。可通过手动或自动模式，将晶圆导片到指定的位置里。

设备优势

• 01

  高性能视觉定位系统

• 02

  高性能视觉检测系统

• 03

  高精度的高速生产模式

• 04

  满足多样的wafer测试需求

• 05

  高精度的高速生产模式

基本信息

设备尺寸：1200mm* 1200mm* 2000mm	动作流程:  1、人工Cassette 上料； 2、机器人搬运Cassette内的Wafer至校准器 ； 3、校准器对Wafer进行校准； 4、机器人搬运校准器上的wafer至另一个cassette内；
设备重量：2000KG
支持产品尺寸：6寸
故障率：＜1/3000