EN

0512-6656 9952

产品中心

智能氮气仓储（Cassette）

通过集成多轴机械臂、智能仓储管理系统及动态路径规划算法，实现物料多工位协同抓取，防氧化储存及最优路径存取，支持批量投料与按需取料模式，结合人机交互接口，确保高洁净度环境下的高效物料流转与工艺稳定性保障。

设备优势

01

设置AB门
02

仓内保压时间：4h内不补充氮气
03

分体式货架，地轨式堆垛机存取料
04

支持扫码
05

模组取放重复定位精度≤±0.1mm，晃动幅度≤±0.2mm

基本信息

苏州华煜半导体设备科技有限公司

0512-6656 9952

陈先生 13913241716 /谢先生19962806360

陈先生 lewis.chen@mtssz.com

谢先生eason.xie@mtssz.com

江苏省苏州市吴中区姑苏路200号

Copyright © 2023 苏州华煜半导体设备科技有限公司版权所有苏ICP备19043037号技术支持：苏易网络