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晶圆自动贴标机

华煜半导体自主研发、制造的高性能、高稳定性的自动晶圆贴标机。人工将装有Wafer的Cassette放入到设备里,设备作业时会通过取片模组,将Wafer取出,放置到工作平台进行定位,视觉系统自动识别Wafer ID并上传至打印系统,系统自动比对打印标签与Wafer ID信息是否准确,确认后机器人将标签贴附在指定位置。

设备优势

  • 01

    支持8寸&12寸晶圆
  • 02

    支持cassette上下料
  • 03

    自动读取Wafer ID
  • 04

    自动打印标签与系统比对
  • 05

    取片/推片防过载预警

基本信息

    设备尺寸:1900*1900*2000mm设备重量:1000kg
    支持:8寸&12寸Wafer产能UPH:≥100环
    支持标签尺寸:40mm*9mm-60mm*18mm故障率:<1/2000


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